此前,國際學術(shù)界與產(chǎn)業(yè)界經(jīng)過10余年攻關(guān),已成功制造出只有數(shù)百個原子長度、若干個原子厚度的高性能基礎器件。而將這些“原子級精密元件”組裝成完整的集成電路系統(tǒng),卻始終受困于工藝精度與規(guī)模均勻性的協(xié)同良率控制難題。
經(jīng)過5年技術(shù)攻關(guān)和迭代,研究團隊在該領域取得了突破性成果。“通過自主創(chuàng)新的特色集成工藝,‘無極’集成晶體管達5900個,實現(xiàn)了二維邏輯功能全球最大規(guī)模驗證紀錄。”周鵬說。
“無極”的工藝流程非常復雜,參數(shù)設置依靠人工很難完成。周鵬說,團隊創(chuàng)新開發(fā)了AI驅(qū)動工藝優(yōu)化技術(shù),通過“原子級界面精準調(diào)控+全流程AI算法優(yōu)化”雙引擎,實現(xiàn)了從材料生長到集成工藝的精準控制,可以迅速確定參數(shù)優(yōu)化窗口,提升晶體管良率。
通過概念驗證后,“無極”正在計劃進入中試階段。據(jù)介紹,在“無極”的電路集成工藝中,70%左右的工序可直接沿用現(xiàn)有硅基生產(chǎn)線成熟技術(shù),而核心的二維特色工藝也已構(gòu)建包含20余項工藝發(fā)明專利,結(jié)合專用工藝設備的自主技術(shù)體系,為未來的產(chǎn)業(yè)化落地鋪平道路。
周鵬介紹:“在待機條件下,3微米尺寸的二維半導體和28納米尺寸的傳統(tǒng)半導體耗能是一樣的。”這意味著在同樣大小和規(guī)模的情況下,二維半導體處理器耗能將大大低于傳統(tǒng)處理器。
周鵬還表示,二維半導體將會與傳統(tǒng)的硅基半導體長期共存互補。從遠期來看,二維半導體微處理器會沿用傳統(tǒng)微處理器的設備接口等,能直接應用于各種傳統(tǒng)應用場景。“無極”采用的RISC-V是一種開源的計算架構(gòu)。“我們相信,它將會對我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)的未來產(chǎn)生深遠影響。”他說。
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